江戸川電子株式会社
スライス
2インチ
アズスライス
280~300μ
ラップまで
300μ
3インチ
〃
〃
〃
〃
4インチ
〃
350μ
〃
330μ
5インチ
〃
450μ
〃
450μ
6インチ
〃
〃
〃
〃
※薄物は、スライス →
熱処理
→ 面取り
・傾斜品は最大26°まで可能
・インゴットからの角柱取り
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半導体加工装置
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スライス
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面取り
厚み落とし(サーフェイス)
熱処理
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